FT-CZ1200Si/1400Si

直拉式单晶炉

FT-CZ1200Si/1400Si

拉晶过程全程自动化

设备运作效率
单晶硅棒高收率以及85%以上的整棒生产率
 
机械部件结构精良
机械部分均采用高精度数控加工,焊接工艺符合日本JIS标准
 
设备装置可靠
具有电源安全保护装置,炉体水温报警系统,炉压异常报警系统
 
控制系统先进
全面数字化管理、全自动操作
 
技术特点
实现多次装料的技术,每次装料可高达50KG,可分为内部装料和外部装料,
极大提高生产效率,并降低生产成本
采用自行研发的抓取机械手,使得每次开炉后的冷却时间减少2-3个小时
磁流体密封技术,保证了籽晶轴的转动密封
自行研发设计水冷套,提高生产效率,降低单位能耗
自行研发设计的取棒车,方便取成品晶棒和运输
 
服务完善
完善的售前服务,整体的生产培训,技术人员驻厂服务,及时的机械零部件配件,定期回访客户,实时的软件升级更新。  

技术参数


  硅材料级
FT-CZ1200Si
硅材料级
FT-CZ1400Si
备注
(适用于两种型号)
场所 周围温度   15-30℃ 15-30℃  
周围湿度 ≤65%(无结露、腐蚀气体) ≤65%(无结露、腐蚀气体)  
洁净度 一般环境水平 一般环境水平  
噪音 ≤75db ≤75db  
地基 2300kg/㎡以上 2300kg/㎡以上  
电源 定格电压 3P 380VAC±10% 50/60Hz 3P 380VAC±10% 50/60Hz  
定格容量 320kVA 350kVA(主副合算)  
定格电流 500A 530A(主副合算)  
冷却水 流量范围 350 ~ 400L/min 500L/min  
供给压力 0.3 ~0.4MPa 0.3 ~0.4MPa  

设备参数 
设备高度 <8991mm <8600mm △视上炉筒高度而定
设备重量 约10T 约15T ※不含磁场
腔体材料 304L/316L 304L/316L  
炉腔内径 1200mm 1400mm  
喉口内径 340mm 520mm
真空度 MAX 1Pa MAX 1Pa  
泄漏量 5Pa/hr 5Pa/hr  
籽晶行程 约4500mm 约4700mm  
籽晶低速升降速度   0.08-7.9mm/min 0.03-7.9mm/min  
籽晶转速 2 ~ 20rpm 2 ~ 20rpm ※籽晶共振点以外
籽晶称重 MAX 350kg MAX 500kg
坩埚行程 700mm 700mm  
坩埚低速升降速度 0.03 ~ 3.0mm/min 0.008 ~ 1.6mm/min  
坩埚转速 2 ~ 20rpm 2 ~ 20rpm  
坩埚轴承重 MAX 600kg MAX 1000kg △可根据客户要求加大承重量         
磁场升降行程 - 1500mm  
磁场升降速度 - MAX 400mm/min  
磁场机构重量 - MAX 10000kg

※以上数据仅为我公司标准样式,“△”项数据可根据客户要求进行调整。