FT-CZ1200Se/1400Se

8/12英寸半导体单晶炉

FT-CZ1200Se/1400Se

拉晶过程全程自动化

设备运作效率
单晶硅棒高收率以及90%以上的整棒生产率
 
机械部件结构精良
机械部分均采用高精度数控加工,焊接工艺符合日本JS标准
 
设备装置可靠
具有电源安全保护装置,炉体水温报警系统,炉压异常报警系统
 
控制系统先进
全面数字化管理、全自动操作
 
技术特点
实现多次装料的技术,每次装料可高达50KG,可分为内部装料和外部装料,
极大提高生产效率,并降低生产成本
采用自行研发的抓取机械手,使得每次开炉后的冷却时间减少2-3个小时
磁流体密封技术,保证了籽晶轴的转动密封
自行研发设计水冷套,提高生产效率,降低单位能耗
自行研发设计的取棒车,方便取成品晶棒和运输
 
服务完善
完善的售前服务,整体的生产培训,技术人员驻厂服务,及时的机械零部件配件,定期回访客户,实时的软件升级更新。

技术参数

型号 FT-CZ1200Se
周围温度 15-30摄氏度
周围湿度 ≤65%(必须保证没有结露情况的发生)
洁净度 1000级净空房
真空度 结晶拉制环境:2.7KPa(20Torr)
到达真空度 3Pa以下
泄漏量 0.1Pa/min or 5Pa/hr
拉制晶棒直径 8"
装料量 MAX 240Kg
腔内直径 MIN φ340mm
热场规格 MAX 28"
石英坩埚规格 MAX 28"
上炉室炉筒高度 可根据客户要求定制
籽晶轴行程 约4800mm
籽晶提升速度(低) 0.08-7.9mm/min
籽晶提升速度(高) 500mm/min
籽晶旋转速度 2-20rmp
坩埚升降速度(低) 0.03-3mm/min
坩埚升降速度(高) 200mm/min
坩埚轴承重 MAX 500kg(可根据客户要求加大承重量)
坩埚转速 0.3-20rmp
坩埚升降轴行程 700mm
加热器升降速度(低) 2mm/min
加热器升降速度(高) 100mm/min
加热器升降行程 250mm
磁场升降速度 MAX 400mm/min
磁场升降行程 1250mm
磁场重量 10ton以下
重量 炉主体 20ton以下
  操作箱 80kg
  电气控制箱 500kg
  加热器电源箱 1800kg
电源 定格电压 三相380V  50/60Hz
  定格电容 320KVA
  定格流量 500A
设备高度 <9100mm



型号 FT-CZ1400Se
周围温度 15-30摄氏度
周围湿度 ≤65%(无结露、腐蚀气体)
洁净度 1000级净空房
真空度 结晶拉制环境:2.7KPa(20Torr)
到达真空度 3Pa以下
泄漏量 0.1Pa/min or 5Pa/hr
拉制晶棒直径 12"
装料量 MAX 500kg
腔内直径 MIN φ400mm
热场规格 MAX 32"
石英坩埚规格 MAX 32"
上炉室炉筒高度 可根据客户要求定制
籽晶轴行程 约5800mm
籽晶提升速度(低) 0.2-7.9mm/min
籽晶提升速度(高) Max500mm/min
籽晶旋转速度 2-20rmp
坩埚升降速度(低) 0.016-1.6mm/min
坩埚升降速度(高) 200mm/min
坩埚轴承重 MAX 700kg(可根据客户要求加大承重量)
坩埚转速 0.3-20rmp
坩埚升降轴行程 680mm
加热器升降速度(低) 2mm/min
加热器升降速度(高) 100mm/min
加热器升降行程 250mm
磁场升降速度 MAX 400mm/min
磁场升降行程 1500mm
磁场重量 10ton以下
重量 炉主体 25ton以下
  操作箱 约80kg
  电气控制箱 约500kg
  加热器电源箱 约1800kg
电源 定格电压 三相380V 50/60Hz
  定格电容 420KVA
  定格流量 650A
设备高度 <10600mm

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